[发明专利]具有可焊接的正面的半导体芯片及制造半导体芯片的方法有效
申请号: | 201611271992.7 | 申请日: | 2016-11-09 |
公开(公告)号: | CN107026140B | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | A·格拉赫;T·卡利希 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/50 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 焊接 正面 半导体 芯片 制造 方法 | ||
1.半导体芯片(100),包括具有第一主延伸方向(x)和第二主延伸方向(y)的半导体元器件(101),其中,所述第一主延伸方向(x)和所述第二主延伸方向(y)形成主延伸平面,其中,所述主延伸平面垂直于所述半导体芯片(100)的堆叠方向(z)布置,其中,直接在所述半导体元器件(101)上布置:
·可焊接的第一金属区域(102),
·可焊接的至少一个第二金属区域(103),以及
·介电区域(104),其中,
所述第一金属区域(102)和所述至少一个第二金属区域(103)由所述介电区域(104)电分离,其中,所述至少一个第二金属区域(103)沿所述第一主延伸方向(x)与所述第一金属区域(102)相距第一间距(105),其特征在于,在所述第一金属区域(102)上布置第一焊料(107),该第一焊料在未焊接状态下具有至少相当于所述第一间距(105)的三倍的第四层厚度,并且在所述第一焊料(107)上布置第三金属区域(108),所述第三金属区域(108)沿所述第一主延伸方向(x)与所述半导体元器件(101)的边缘相距第三间距(109),该第三间距相当于在未焊接状态下的所述第一焊料(107)的第四层厚度的至少五倍,其中,所述第一金属区域(102)、所述第二金属区域(103)、所述第三金属区域(108)和所述第一焊料(107)具有材料锁合连接。
2.根据权利要求1所述的半导体芯片(100),其特征在于,所述至少一个第二金属区域(103)完全由所述介电区域(104)包围。
3.根据权利要求1或2所述的半导体芯片(100),其特征在于,所述第一金属区域(102)完全由所述介电区域(104)包围。
4.根据权利要求1或2所述的半导体芯片(100),其特征在于,所述第二金属区域(103)沿所述主延伸方向(x)与所述半导体元器件(101)的边缘相距第二间距(106)。
5.根据权利要求1或2所述的半导体芯片(100),其特征在于,所述第一金属区域(102)具有第一层厚度,所述第二金属区域(103)具有第二层厚度,所述介电区域(104)具有第三层厚度,其中,所述第一层厚度和所述第二层厚度大于所述第三层厚度。
6.根据权利要求1或2所述的半导体芯片(100),其特征在于,所述半导体元器件(101)包括伪肖特基二极管。
7.用于制造根据权利要求1至6中任一项所述的包括半导体元器件(101)的半导体芯片(100)的方法(400),具有如下步骤:
·在所述半导体元器件(101)上结构化(410)介电区域(104);
·将第一金属区域(102)和第二金属区域(103)施加(420)到所述半导体元器件(101)上,使得所述第一金属区域(102)和所述第二金属区域(103)通过所述介电区域(104)彼此电分离;
·将第一焊料(107)施加(430)到所述第一金属区域(102)上,将第三金属区域(108)施加到所述第一焊料(107)上,以及
·通过温度步骤材料锁合地连接(450)所述第一金属区域(102)、所述第二金属区域(103)、第三金属区域(108)以及所述第一焊料(107)。
8.根据权利要求7所述的方法(400),其特征在于,通过暂时接通(425)所述第一金属区域(102)和/或所述第二金属区域(103)测试所述半导体元器件(101)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司,未经罗伯特·博世有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201611271992.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。