[发明专利]具有可焊接的正面的半导体芯片及制造半导体芯片的方法有效

专利信息
申请号: 201611271992.7 申请日: 2016-11-09
公开(公告)号: CN107026140B 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: A·格拉赫;T·卡利希 申请(专利权)人: 罗伯特·博世有限公司
主分类号: H01L23/488 分类号: H01L23/488;H01L21/50
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 侯鸣慧
地址: 德国斯*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 具有 焊接 正面 半导体 芯片 制造 方法
【权利要求书】:

1.半导体芯片(100),包括具有第一主延伸方向(x)和第二主延伸方向(y)的半导体元器件(101),其中,所述第一主延伸方向(x)和所述第二主延伸方向(y)形成主延伸平面,其中,所述主延伸平面垂直于所述半导体芯片(100)的堆叠方向(z)布置,其中,直接在所述半导体元器件(101)上布置:

·可焊接的第一金属区域(102),

·可焊接的至少一个第二金属区域(103),以及

·介电区域(104),其中,

所述第一金属区域(102)和所述至少一个第二金属区域(103)由所述介电区域(104)电分离,其中,所述至少一个第二金属区域(103)沿所述第一主延伸方向(x)与所述第一金属区域(102)相距第一间距(105),其特征在于,在所述第一金属区域(102)上布置第一焊料(107),该第一焊料在未焊接状态下具有至少相当于所述第一间距(105)的三倍的第四层厚度,并且在所述第一焊料(107)上布置第三金属区域(108),所述第三金属区域(108)沿所述第一主延伸方向(x)与所述半导体元器件(101)的边缘相距第三间距(109),该第三间距相当于在未焊接状态下的所述第一焊料(107)的第四层厚度的至少五倍,其中,所述第一金属区域(102)、所述第二金属区域(103)、所述第三金属区域(108)和所述第一焊料(107)具有材料锁合连接。

2.根据权利要求1所述的半导体芯片(100),其特征在于,所述至少一个第二金属区域(103)完全由所述介电区域(104)包围。

3.根据权利要求1或2所述的半导体芯片(100),其特征在于,所述第一金属区域(102)完全由所述介电区域(104)包围。

4.根据权利要求1或2所述的半导体芯片(100),其特征在于,所述第二金属区域(103)沿所述主延伸方向(x)与所述半导体元器件(101)的边缘相距第二间距(106)。

5.根据权利要求1或2所述的半导体芯片(100),其特征在于,所述第一金属区域(102)具有第一层厚度,所述第二金属区域(103)具有第二层厚度,所述介电区域(104)具有第三层厚度,其中,所述第一层厚度和所述第二层厚度大于所述第三层厚度。

6.根据权利要求1或2所述的半导体芯片(100),其特征在于,所述半导体元器件(101)包括伪肖特基二极管。

7.用于制造根据权利要求1至6中任一项所述的包括半导体元器件(101)的半导体芯片(100)的方法(400),具有如下步骤:

·在所述半导体元器件(101)上结构化(410)介电区域(104);

·将第一金属区域(102)和第二金属区域(103)施加(420)到所述半导体元器件(101)上,使得所述第一金属区域(102)和所述第二金属区域(103)通过所述介电区域(104)彼此电分离;

·将第一焊料(107)施加(430)到所述第一金属区域(102)上,将第三金属区域(108)施加到所述第一焊料(107)上,以及

·通过温度步骤材料锁合地连接(450)所述第一金属区域(102)、所述第二金属区域(103)、第三金属区域(108)以及所述第一焊料(107)。

8.根据权利要求7所述的方法(400),其特征在于,通过暂时接通(425)所述第一金属区域(102)和/或所述第二金属区域(103)测试所述半导体元器件(101)。

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