[实用新型]一种角度依赖的光子晶体氢气传感器

权利要求书

1.一种角度依赖的光子晶体氢气传感器，其特征在于包括激光光源、光子晶体探头和探测器，所述激光光源经过准直器准直成平行光后入射到光子晶体探头，光子晶体探头背面设置探测器，所述激光光源与探测器为连动式，

所述光子晶体探头包括在石英表面生长的二氧化钛脊型光子晶体，所述二氧化钛脊型光子晶体侧面生长有一层钯基合金。

2.根据权利要求1所述的一种角度依赖的光子晶体氢气传感器，其特征在于所述准直后的激光以固定入射角度入射到光子晶体探头上。

3.根据权利要求2所述的一种角度依赖的光子晶体氢气传感器，其特征在于所述固定入射角度为光子晶体共振角度。

4.根据权利要求3所述的一种角度依赖的光子晶体氢气传感器，其特征在于在准直后的激光在光子晶体共振角度下的TM模透射系数为0%。

5.根据权利要求1所述的一种角度依赖的光子晶体氢气传感器，其特征在于所述光子晶体探头中光子晶体的周期、二氧化钛层的厚度与二氧化钛层脊型的高度在可见光波段可调。

6.根据权利要求5所述的一种角度依赖的光子晶体氢气传感器，其特征在于所述光子晶体的周期为400纳米，二氧化钛层的厚度为150纳米至180纳米，二氧化钛层的脊型高度为15纳米至50纳米。

7.根据权利要求1所述的一种角度依赖的光子晶体氢气传感器，其特征在于所述钯基合金或为钯金合金，或为钯钇合金。

8.根据权利要求7所述的一种角度依赖的光子晶体氢气传感器，其特征在于所述钯基合金的厚度为10纳米至100纳米。