[实用新型]用于硅片清洗设备的过滤器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于硅片清洗设备的过滤器，属于太阳电池制造设备技术领域。

背景技术

现有清洗机台各主槽溢流口均为PP材质框架加上滤网，滤网与主槽底部平行，此滤网的网状部分易破损，导致溢流口容易被碎片盖住，从而使药液无法正常从溢流口流入副槽。造成循环不畅，从而引发一系列触发泵保护的异常报警，如溢流口液位异常、副槽低液位等；并且此现象会使主槽液面过高，造成槽与槽之间串液，且存在安全隐患。而一些其他结构的过滤装置多存在结构复杂，制造成本高，不易实现等缺点。

实用新型内容

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种结构简单，过滤效果好，且能保持液体流通通畅，用于硅片清洗设备的过滤器。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种用于硅片清洗设备的过滤器，包括罩设于主槽体溢流口处的本体，该本体内形成连通溢流口的引水腔，本体的顶面和侧面上均设有连通引水腔的过滤孔，本体具有连接主槽体的底部。本过滤器的强度高，不易被碎片遮挡，能够保证足够的溢流流量，安装此过滤器，即使槽内碎片较多的情况下，也不会出现碎片堵住溢流口的现象，保证主槽体与副槽的循环通畅；进而有效避免主槽液面过高，避免泵保护的异常警报，防止槽与槽之间的串液，使用的安全性高；且本过滤器无需改变主槽体的结构，只需更换过滤器即可，安装方便，且结构简单，容易实现，制造和使用成本低，易于推广使用。

进一步地，所述本体呈圆柱形。结构简单，容易制造，边缘光滑，不易损坏。

进一步地，所述过滤孔为直径4cm的圆形孔。过滤效果最佳，液体流通效果好。

进一步地，所述本体与主槽体顶部的传动滚轮之间的距离为5cm。该设置考虑了主槽体插件上传动滚轮与本体之间的距离，防止过滤器与传动滚轮相互干扰，且保证过滤器和传动滚轮的使用效果和使用的安全性。

进一步地，所述本体底部焊接于主槽体内。焊接方便，且连接的牢固性好。

综上所述，本实用新型具有结构简单，容易实现，且过滤效果好，结构牢固，还能保持液体流通通畅。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的使用状态图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好的理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。

如图1-2所示，一种用于硅片清洗设备的过滤器，包括本体1，所述本体1呈圆柱形，该本体1罩设于主槽体100溢流口处.且本过滤器的高度设置还需考虑到主槽体100插件上传动滚轮的高度，即本体1与主槽体100顶部的传动滚轮之间的距离为5cm。所述本体1内形成引水腔，该引水腔连通溢流口，本体1的顶面和侧面上均设有过滤孔11，该过滤孔11连通引水腔，且所述过滤孔11为圆形孔，该过滤孔11的直径为4cm。本体1的底部连接主槽体100，即所述本体1底部焊接于主槽体100内，且本体1的材质与主槽体100的材质相同。

本过滤器主要过滤主槽体1内药液和碎硅片，无需改变原有的主槽体结构，只需将原过滤网改为本过滤器即可，容易实现，使用成本低。本实用新型可避免碎片堵住溢流口，防止主槽体100内液位过高，也避免了槽与槽之间的串液。

此外，本过滤器主要安装于SC-SF000CS多晶链式湿法刻蚀清洗设备上，实现对主槽体100与副槽体101之间液体循环流动过程中的过滤，在主槽体100内的液体流入副槽体101时，防止主槽体100内的碎硅片进入副槽体101内。本过滤器与主槽体100采用相同材质，本过滤器通过热风枪焊接在主槽体100上，使过滤器牢固地固定在主槽体100上。

显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。