[实用新型]一种双子蓝宝石衬底

权利要求书

1.一种双子蓝宝石衬底，包括聚合物层（1），其特征在于：所述聚合物层（1）的上表面和下表面分别沉积有上蓝宝石衬底（2）和下蓝宝石衬底（8），所述上蓝宝石衬底（2）的顶部等距离规则排列有锥形凸块（3），且上蓝宝石衬底（2）的平坦顶部生长有GaN结晶生长层（4），所述锥形凸块（3）的锥形顶部和GaN结晶生长层（4）之间形成锥形槽体（5），所述GaN结晶生长层（4）的顶部经化学机械抛光设置有粗糙层（7），所述GaN结晶生长层（4）的顶部开有矩阵刻槽（6），且矩阵刻槽（6）包括横向刻槽（61）和竖向刻槽（62），所述下蓝宝石衬底（8）的上表面和下表面均通过感应耦合等离子体刻蚀工艺形成有微透镜（9），且聚合物层（1）的内腔设置有与微透镜（9）相配合的透镜槽。

2.根据权利要求1所述的一种双子蓝宝石衬底，其特征在于：所述锥形槽体（5）最少为相同的两组。

3.根据权利要求1所述的一种双子蓝宝石衬底，其特征在于：所述粗糙层（7）的粗糙度小于等于0.15nm。

4.根据权利要求1所述的一种双子蓝宝石衬底，其特征在于：所述粗糙层（7）设置在横向刻槽（61）和竖向刻槽（62）所形成的腔体中。

5.根据权利要求1所述的一种双子蓝宝石衬底，其特征在于：所述微透镜（9）为半球型，且微透镜（9）的半圆面均设置在下蓝宝石衬底（8）的上表面和下表面。