[实用新型]一种内热式多级连续真空炉

权利要求书

1.一种内热式多级连续真空炉，其特征在于：包括电柱、坩埚、水冷却壁、 炉壳，炉壳下方连接有真空泵抽管，真空泵抽管两侧安装有水冷电极,炉壳一侧 上方连接有进水口，另一侧下方连接有出水口，炉壳上方安装有观察口,炉壳内 部设置有冷却罩,冷却罩内部设置有隔热罩,隔热罩内部安装有坩埚,坩埚内部 安装有电柱,坩埚底部固定有盛料器，炉壳前方端口安装有炉门。

2.根据权利要求1所述的一种内热式多级连续真空炉，其特征在于：真空 泵抽管与炉壳通过螺钉连接，水冷电极与炉壳通过螺钉连接。

3.根据权利要求1所述的一种内热式多级连续真空炉，其特征在于：水冷 电极与电柱通过导线连接，炉壳与观察口通过螺钉固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种内热式多级连续真空炉，其特征在于：盛料 器与坩埚通过螺钉固定连接，坩埚与炉壳通过螺钉紧固连接。

5.根据权利要求1所述的一种内热式多级连续真空炉，其特征在于：隔热 罩与冷却罩通过螺钉固定连接，石墨粉与冷却罩通过粘接固定。