[实用新型]一种盖板开启装置有效

专利信息
申请号: 201620054359.1 申请日: 2016-01-20
公开(公告)号: CN205312864U 公开(公告)日: 2016-06-15
发明(设计)人: 陆士德;陈玉峰;周金锋;阮珏旻;张靖华;陈华勇 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: B66C1/12 分类号: B66C1/12;B66D1/04;B66D1/28
代理公司: 上海光华专利事务所 31219 代理人: 余明伟
地址: 100176 北京市大兴*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 盖板 开启 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种盖板开启装置,特别是涉及一种无尘室中风机过滤机组室 (FFUroom)的盖板开启装置。

背景技术

在半导体器件的制造过程中,微粒子污染对成品率有重大影响,故需要在半导体 器件的生产过程中使用无尘室。无尘室最主要的作用在于控制产品所接触之大气的洁净度 及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。

无尘室中的风机过滤机组(FFU)可模块化连接使用,风机过滤机组(FFU)设有初、 高效两级过滤网,风机从顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整 个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出,为不同尺寸大小、不同洁净度等级的洁净室、 微环境提供高质量的洁净空气。

无尘室中风机过滤机组室(FFUroom)在开启吊顶盖板时没有专用工具,现有技术 中都是通过人员用手抓取,实现开启吊顶盖板;而使用这种方法开启吊顶盖板,存在人员容 易失手,造成盖板和人员的坠落事故的问题。

鉴于此,有必要设计一种盖板开启装置用以解决上述技术问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点,本实用新型的目的在于提供一种盖板开启装置, 用于解决现有技术中用手抓取盖板时容易失手,造成盖板和人员的坠落事故的问题。

为实现上述目的及其他相关目的,本实用新型提供一种盖板开启装置,所述盖板 开启装置包括支撑部,所述支撑部包括横臂、位于所述横臂两端的卡槽以及位于所述卡槽 内的滚柱;位于所述横臂上的链条收纳部,所述链条收纳部包括由转盘和转轴组成的转动 装置、与所述转轴连接的手柄以及固定于所述转盘的收放链条;连接于所述收放链条另一 端的悬吊部,所述悬吊部包括悬吊臂、位于所述悬吊臂两端的挂钩链条以及与所述挂钩链 条连接的挂钩。

作为本实用新型盖板开启装置的一种优选方案,所述转动装置还包括一固定部, 所述转轴和转盘位于所述固定部内,所述转轴两端分别固定一转盘,所述转盘分别固定于 所述固定部的一端。

作为本实用新型盖板开启装置的一种优选方案,所述链条收纳部还包括位于所述 转动装置一侧横臂上的插销以及与所述插销配合的插销孔,所述插销包括固定于所述横臂 的链条部以及与所述链条部连接的插销部;所述插销孔位于两个转盘的同一位置。

作为本实用新型盖板开启装置的一种优选方案,所述转动装置位于所述横臂的中 心位置。

作为本实用新型盖板开启装置的一种优选方案,所述收放链条位于所述悬吊臂的 中心位置。

作为本实用新型盖板开启装置的一种优选方案,所述滚柱至少为四个。

作为本实用新型盖板开启装置的一种优选方案,所述滚柱对称放置。

作为本实用新型盖板开启装置的一种优选方案,所述卡槽为U型卡槽。

作为本实用新型盖板开启装置的一种优选方案,所述挂钩为J型挂钩。

作为本实用新型盖板开启装置的一种优选方案,所述挂钩为双L型转动挂钩,所述 双L型转动挂钩包括一个大L结构、位于所述大L结构上的悬吊孔、连接部、上端通过所述连 接部固定于所述大L结构上并带有凹槽的小L结构以及与所述凹槽配合的固定于大L结构上 的锁定部。

如上所述,本实用新型的一种盖板开启装置,具有以下有益效果:通过卡槽将所述 盖板开启装置固定在主梁上,使得作业人员作业时减少对盖板的承受力,同时也可以消除 人抓取盖板时容易失手造成盖板掉落的风险,并通过所述盖板开启装置的滚柱设计,将盖 板从工作区移至非工作区,从而达到安全方便开启盖板的目的。

附图说明

图1显示为本实用新型的结构示意图。

图2显示为本实用新型的俯视图。

图3显示为本实用新型链条收纳部的插销示意图。

图4显示为本实用新型悬吊部的J型挂钩示意图。

图5显示为本实用新型悬吊部的双L型转动挂钩左视图。

图6显示为本实用新型悬吊部的双L型转动挂钩悬吊盖板的示意图。

元件标号说明

1盖板开启装置

11支撑部

111横臂

112卡槽

113滚柱

12链条收纳部

121转动装置

1211固定部

1212转盘

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,未经中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201620054359.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top