[实用新型]基板的清洗装置

权利要求书

1.基板的清洗装置，其特征是：包括清洗槽、高压喷水装置和用于擦拭基板(01) 的擦拭装置；清洗槽包括槽体(1)、转动装置和喷气装置；转动装置设置在 槽体(1)内，基板(01)水平安装在转动装置上且在转动装置的带动下在 水平面内旋转；喷气装置设置在槽体(1)内壁上且朝向基板(01)的中心 区域喷气；槽体(1)上设有排水装置；高压喷水装置包括第一机械臂(61) 和高压喷头(62)，第一机械臂(61)控制高压喷头(62)进入槽体(1)内 且朝向基板(01)喷出高压水。

2.根据权利要求1所述的基板的清洗装置，其特征是：所述第一机械臂(61) 包括第一立柱(611)和固定在第一立柱(611)上端的第一平杆(612)，第 一立柱(611)为可旋转的伸缩杆，高压喷头(62)固定在第一平杆(612) 上。

3.根据权利要求1所述的基板的清洗装置，其特征是：擦拭装置包括第二机械 臂(71)和转接在第二机械臂(71)上的毛刷辊(72)，第二机械臂(71) 控制毛刷辊(72)进入槽体(1)内且使毛刷辊(72)擦拭基板(01)。

4.根据权利要求3所述的基板的清洗装置，其特征是：所述第二机械臂(71) 包括第二立柱(711)和固定在第二立柱(711)上端的第二平杆(712)，第 二立柱(711)为可旋转的伸缩杆，毛刷辊(72)转接在第二平杆(712)上； 所述第二平杆(712)上设有给毛刷辊(72)供给洗涤剂的洗涤剂喷头(73)。

5.根据权利要求1所述的基板的清洗装置，其特征是：转动装置包括旋转电机 和固定在旋转电机转轴(2)上的安装座(3)，安装座(3)上表面固定有多 个限位柱(34)，基板(01)卡接在限位柱(34)之间；转盘的上表面设有 至少三个支撑块(33)，基板(01)放置在支撑块(33)的顶端。

6.根据权利要求5所述的基板的清洗装置，其特征是：所述基板(01)为方形， 安装座(3)由一个固定在旋转电机转轴(2)上的圆盘(31)和均布在圆盘 (31)周边的四个支板(32)构成，每个支板(32)上分别设有一个支撑块 (33)和两个用于卡住基板(01)的限位柱(34)。

7.根据权利要求5或6所述的基板的清洗装置，其特征是：所述限位柱(34) 上设有弹性部分，基板(01)卡接在限位柱(34)的弹性部分上；所述支撑 块(33)的顶部具有弹性。

8.根据权利要求1所述的基板的清洗装置，其特征是：所述槽体(1)的内壁 上设有至少两个喷水管(5)；所述喷水管(5)朝向基板(01)的上下两个 表面喷水。

9.根据权利要求1所述的基板的清洗装置，其特征是：所述喷气装置由至少一 根喷气管(4)构成。

10.根据权利要求1或9所述的基板的清洗装置，其特征是：所述喷气装置的喷 气方向与基板(01)的夹角在10°～70°。