[实用新型]探针卡及测试系统

权利要求书

1.一种探针卡，包括基板，设置于所述基板上的探针、探针连接点和金手指，所述每一个探针对应一个探针连接点和一个金手指，所述探针同与其对应的探针连接点连接，所述金手指与测试机连接，其特征在于，还包括至少一个接通装置，每个接通装置具有第一端和第二端并分别与两个不同金手指连接，仅在与接通装置的第一端连接的金手指通电时，所述接通装置的第二端连接的金手指的电位与所述接通装置的第二端连接的金手指的电位才相同。

2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述接通装置包括：壳体及设置于所述壳体中的第一杆体、第二杆体、金属杆、导线、弹簧、衔铁和电磁铁；所述壳体的内部对应第一端和第二端分别设置有一引脚，以将所述壳体外部的信号传递至所述壳体的内部；

所述第一杆体与所述壳体固定连接；

所述第二杆体的一端与所述第一杆体的一端连接，所述第二杆体的另一端与所述金属杆的一端旋转连接；

所述衔铁的一端与所述金属杆的另一端连接，所述衔铁的另一端与对应第二端的引脚间隔分布；

所述导线的一端与对应第一端的引脚连接，所述导线的另一端与所述金属杆连接；

所述电磁铁固定于所述第一杆体上，所述电磁铁包括铁芯及缠绕于所述铁芯上的线圈，所述线圈的末端与所述导线电性连接；

所述弹簧的一端与所述第一杆体连接，所述弹簧的另一端与所述金属杆连接。

3.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，与接通装置的一端连接的金手指通电时，所述衔铁的另一端向与其间隔的引脚方向移动，直至与所述引脚电性连接。

4.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述弹簧与所述第二杆体平行设置，并位于所述第二杆体远离所述电磁铁的一侧。

5.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述弹簧与所述第二杆体平行设置，并位于所述第二杆体靠近所述电磁铁的一侧。

6.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述壳体为塑料壳体。

7.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述第二杆体的另一端通过销轴，与所述金属杆的一端旋转连接。

8.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述衔铁的一端通过销轴与所述金属杆的另一端旋转连接。

9.一种测试系统，适用于至少两个测试端的器件的测试，其特征在于，包括测试机，及设置于所述测试机上的如权利要求1～8中任一项所述的探针卡。

10.如权利要求9所述的测试系统，其特征在于，所述测试机具有4个源测量单元。

11.如权利要求9所述的测试系统，其特征在于，所述器件为带保护环的器件，具有5个测试端，测试时所述测试机给所述探针卡上的一个接通装置通电。

12.如权利要求9所述的测试系统，其特征在于，所述器件为带保护环和深井的器件，所述器件具有6个测试端，测试时所述测试机给所述探针卡上的两个接通装置通电。