[实用新型]一种微波毫米波直流偏置探针

说明书

技术领域

本实用新型涉及微波毫米波放大器电路在片测试技术领域。

背景技术

随着通信和雷达等技术的不断发展，极大的牵引着微波毫米波技术的发展，尤其是固态微波功率放大器和低噪声放大器等有源器件的发展，进而带动了相关产业链的发展，比如微波组装、微波在片测试等领域。

微波毫米波在片测试是微波放大器和低噪声放大器等有源器件研制和生产的关键技术之一，更是制约生产的主要瓶颈所在。通常，微波毫米波芯片在应用之前必须进行测试、筛选，以确保提供给系统的电路是完好的，尤其是对功率合成系统和收发多功能通道来说，数十只甚至上百只功率芯片在同一通道，如果有缺陷，排查将是一个繁重、费时的过程，因此在片测试必须快速、准确和有效，真实表征电路的功能作用。

在片测试是对晶圆级微波毫米波电路进行微波性能自动筛选测试。目前，通用步骤如下：首先把晶圆片放置在探针台中间，通过真空吸附固定；然后通过微波探针供给微波信号，通过直流探针实现偏置上电；最后利用相关微波仪器测试其相关性能。在这系列条件中，直流加电的偏置探针起到非常关键的作用，如果配置不恰当，去耦不良，将导致严重后果，比如自激和振荡，严重的会烧毁芯片以及探针等。

目前，常用的直流偏置探针采用屏蔽线供电，其芯为加电线，连接至探针头，而外层包裹线直接连接探针座，进而接地。由于接地线距离芯片真正的地比较远，加之工作频率较高，即使一段较短的电线，其寄生的感性量将可能导致其在低频或高频某处振荡和自激，进而影响测试准确性，更严重的是无法正常测试，烧毁芯片和损害探针。为了解决此类问题，常常采用制作排针（探针卡），如CASCADE和GGB公司，即在排针之间，连接去耦电容，目的是缩短与芯片真正的地之间的距离，较少寄生参量，同时辅之合理的去耦电容，避免单探针测试所带来上述潜在的问题，但是由于排针本身面积较大，加之芯片面积大小、放大器级数以及版图布局等不同，导致探针卡使用没有通用性，给测试带来诸多不便。

针对上述问题，需要一种不仅使用简单、灵活，通用，而且去耦良好，有效避免自激的微波毫米波用直流偏置探针。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种微波毫米波直流偏置探针，体积小、简单灵活、通用性好、去耦良好、节省成本、有效消除测试自激和震荡等潜在问题。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种微波毫米波直流偏置探针，其特征在于包括探针、探针座和电容；所述探针设置有2个，分别固定于环氧树脂基板上，环氧树脂基板固定安装于探针座上；探针前端固定有探针前端电容，探针中间部位固定有探针中部电容，探针尾部固定有探针尾部电容，探针前端电容、探针中部电容和探针尾部电容容值大小不同。

作为优选，所述2个探针呈并列排列。

作为优选，所述探针固定在环氧树脂基板上的方式为焊接，环氧树脂基板上的2条金属微带线分别焊接于2条探针尾部，一根用于直流上电，另一根用于接地。

作为优选，所述2个探针间距可调节，以满足通用微波毫米波PAD间距要求。

作为优选，所述探针前端电容、探针中部电容和探针尾部电容的容值按照从小到大排列。

作为优选，所述探针前端电容、探针中部电容和探针尾部电容的容值可根据不同测试电路进行微调。

作为优选，所述探针前端电容、探针中部电容和探针尾部电容固定在探针上的方式为焊接。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本实用新型提供一种微波毫米波直流偏置探针，体积小、简单灵活、通用性好、去耦良好、节省成本、有效消除测试自激和震荡等潜在问题。

首先，能有效消除自激和振荡，通过采用双直流探针并列排列，双探针尾部焊接于微型或小型的环氧版上的两条金属微带线上，一探针用于接地，另一探针用于直流加电；在其针前端和中间部位焊接不同容值的电容，在其尾部焊接大容值去耦电容，缩减了到芯片真正地之间的距离，进而降低寄生参量影响，消除自激和振荡。

其次，通用性好，两探针之间的距离可以根据实际需要，进行不同程度的微调，匹配满足通用芯片焊盘间距，涵盖大多数微波毫米波电路测试。

再次，体积小，使用灵活，由于只采用两探针并列，相比于探针卡，不仅体积小，而且移动和使用方便；

最后，节省成本，本探针仅比单探针多用了一根探针和几只去耦电容，相比于排针和探针卡制作，费用大大降低。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；