[实用新型]光学镀膜机快速无尘进气系统有效
| 申请号： | 201620064717.7 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN205347561U | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李雪高 | 申请（专利权）人： | 东莞市长益光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 连平 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 镀膜 快速 无尘进气 系统 | ||
【权利要求书】：
1.光学镀膜机快速无尘进气系统，其特征在于，包括过滤装置、电磁阀(2)和压力调节阀(3)，所述过滤装置包括至少一个过滤器(1)，所述过滤装置的出气端与压力调节阀(3)的进气端连通，所述压力调节阀(3)的出气端与电磁阀(2)的进气端连通。
2.根据权利要求1所述光学镀膜机快速无尘进气系统，其特征在于，所述过滤器(1)为0.01μm压缩空气过滤器。
3.根据权利要求1所述光学镀膜机快速无尘进气系统，其特征在于，所述电磁阀(2)为气体单向电磁阀。
4.根据权利要求1所述光学镀膜机快速无尘进气系统，其特征在于，所述压力调节阀(3)为紧凑型减压阀。
5.根据权利要求1所述光学镀膜机快速无尘进气系统，其特征在于，所述过滤装置、电磁阀(2)和压力调节阀(3)通过无尘气管(4)连接。
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