[实用新型]供气嘴检测装置

说明书

技术领域

本申请涉及检测领域，尤其涉及一种供气嘴检测装置。

背景技术

在低温多晶硅工艺中，出于改善TFT(薄膜晶体管)阈值电压及其他 电学特性考虑，离子注入发挥着非常重要的作用。在高真空高电压环境中 对特气供气嘴的性能也提出了严格的要求。因此，供气嘴在使用前需要 进行严格的检测，合格后才能够使用。

相关技术中，一般检测是通过人工按照操作流程手持供气嘴，并用气 枪对着供气嘴喷气来以此确认是否通气。

但这种检测方式操作繁琐，并且检测误差较大。

实用新型内容

本申请提供了一种供气嘴检测装置，能够提高检测精度。

本申请所提供的供气嘴检测装置，包括供气管路以及检测单元，所述 检测单元包括供气流量计、用于固定供气嘴底部的供气嘴固定座、检测管 以及检测流量计，

所述供气管路与所述供气流量计相连，所述供气流量计与所述供气嘴 固定座相连，用于将来自所述供气管路的检测用气输送至供气嘴的底部，

所述检测管的管口设置在与供气嘴的喷嘴相对的位置，以使喷嘴喷出 的检测用气能够吹入所述检测管内，所述检测管与所述检测流量计相连。

优选地，所述检测单元的数量为多个，多个所述检测单元均与所述供 气管路相连。

优选地，多个所述检测单元并排依次排布。

优选地，还包括固定架，多个所述检测单元均固定在所述固定框架上。

优选地，所述供气嘴固定座一体设置。

优选地，所述供气嘴固定座与所述固定架铰接，且能够在竖直与水平 方向之间进行转动。

优选地，还包括固定板，所述检测管的管口固定于所述固定板上。

优选地，所述固定板与所述固定架铰接，且能够在竖直与水平方向之 间进行转动。

优选地，所述检测单元还包括调节阀，所述调节阀设置在所述供气流 量计与所述供气管路之间。

优选地，所述供气嘴固定座上设置有与供气嘴的底部螺纹连接的螺纹 通孔。

本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果：

本申请所提供的供气嘴检测装置通过将供气嘴的底部固定在供气嘴 固定座上，之后分别通过供气流量计以及检测流量计检测供气嘴前后的检 测用气的流量数值，便可准确的反映出供气嘴的通气状态以及通气程度， 相较于通过人工采用气枪的检测方式，检测精度更高。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并 不能限制本申请。

附图说明

图1为本申请实施例所提供的供气嘴检测装置检测供气嘴时的整体结 构示意图；

图2为本申请实施例所提供的供气嘴固定座与固定板均旋转至水平状 态时与供气嘴的配合结构示意图；

图3为本申请实施例所提供的供气嘴固定座与固定板均旋转至竖直状 态时的结构示意图。

附图标记：

1-供气嘴检测装置；

10-供气管路；

12-检测单元；

120-供气流量计；

122-供气嘴固定座；

124-检测管；

126-检测流量计；

128-调节阀；

14-固定架；

16-固定板；

2-供气嘴。

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本 申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。

具体实施方式

下面通过具体的实施例并结合附图对本申请做进一步的详细描述。文 中所述“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”均以附图中的供气嘴检测装 置的放置状态为参照。