[实用新型]一种晶棒圆度校准仪

权利要求书

1.一种晶棒圆度校准仪，包括设于同一平台上的立柱(1)和托盘(2)，所 述托盘(2)受驱动装置驱动绕自身轴线转动，所述立柱(1)垂直固定在所述平 台上，百分表(3)通过表架(5)安装在所述立柱(1)上，其特征在于，所述 立柱(1)的侧壁上设有沿高度方向设置的限位滑槽(6)，所述限位滑槽(6)的 横截面形状为T字形，所述表架(5)上适于与所述限位滑槽(6)滑动配合的配 合部的形状与所述限位滑槽(6)的形状相匹配，所述限位滑槽(6)两相对侧壁 上沿其高度方向间隔设置有多个定位齿槽(7)；

还包括适于将所述表架(5)锁定在所述立柱(1)上合适位置的锁定装置； 所述锁定装置包括两交叉设置的锁杆(8)、将两锁杆(8)铰接安装在所述配合 部上的定位销(9)、以及为两锁杆(8)提供锁定弹力的弹簧(10)，所述各锁杆 (8)的一端为锁定端(11)，其上设有适于与所述定位齿槽(7)配合的定位凸 齿(12)，所述各锁杆(8)另一端为解锁端(13)，其上设有解锁按钮(19)，在 常态下，所述弹簧(10)为所述两锁杆(8)提供向外的锁定弹力，以使所述锁 定端(11)的定位凸齿(12)与所述定位齿槽(7)配合形成锁定。

2.根据权利要求1所述的晶棒圆度校准仪，其特征在于，所述配合部由底 座和上盖连接构成，并在两者之间形成适于安装所述锁定装置的安装空间。

3.根据权利要求2所述的晶棒圆度校准仪，其特征在于，所述表架(5)上 用于安装百分表(3)的连接杆为伸缩杆。

4.根据权利要求3所述的晶棒圆度校准仪，其特征在于，所述伸缩杆包括 第一连接杆(14)和活动插装在所述第一连接杆(14)内的第二连接杆(15)， 所述第一连接杆(14)的固定端与所述配合部固定连接，所述百分表(3)固定 在所述第二连接杆(15)的自由端，所述第一连接杆(14)与所述第二连接杆(15) 中的一个上设有周向限位凸台(17)，所述第一连接杆(14)和所述第二连接杆 (15)中的另一个上设有适于与所述周向限位凸台(17)配合的周向限位槽(18)， 在所述第一连接杆(14)上设有锁定螺丝(16)。