[实用新型]一种高纯气体充装系统有效
| 申请号： | 201620071772.9 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN205331790U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 钱亮;钱国强 | 申请（专利权）人： | 池州森大轻工制品有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/06 | 分类号： | F17C5/06;F17C13/02 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 章登亚 |
| 地址： | 247000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 气体 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种高纯气体充装系统，其特征是：所述高纯气体充装系统包括储罐（1）、充装泵（2）、充气管路（3）、纯化器（4）、充装排（5）、气瓶（6）、真空泵（7）、分析仪（8）、气体回流管路（9）；
充气泵（2）连接储罐（1），充气管路（3）一端连接充气泵（2）、另一端连接充装排（5）；纯化器（4）并联于充气管路（3）上，充气管路（3）被并联段设置阀门；气瓶（6）固定在充装排上，同时设置气体回流管路（9）连接气瓶；真空泵（6）连接在充装排上；设置分析仪（8），采样点分别设置在充气管路（3）和充装排（5）与真空泵（7）连接管路上。
2.如权利要求1所述的一种高纯气体充装系统，其特征是：所述的纯化器（4）包含水纯化器和氧纯化器。
3.如权利要求1所述的一种高纯气体充装系统，其特征是：所述的分析仪（7）内部包含水分析仪和氧分析仪。
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