[实用新型]用于将元件载体暴露在光下的设备有效
申请号: | 201620085600.7 | 申请日: | 2016-01-28 |
公开(公告)号: | CN205787588U | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 安妮·泰;乔尔达诺-玛利亚·迪格雷戈里奥;李涛 | 申请(专利权)人: | 奥特斯(中国)有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H05K3/06 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人: | 瞿卫军;张晶 |
地址: | 201108 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 元件 载体 暴露 设备 | ||
【权利要求书】:
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