[实用新型]靶材的旋转移动支撑装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种在离子束辅助沉积镀膜时对靶材的旋转移 动支撑装置，属于一种夹具。

背景技术

离子束辅助沉积镀膜作为一种金属材料表面改性的手段，可以实 现向金属材料表面注入任何种类的元素而不受元素间固溶度的限制。 离子束辅助沉积镀膜不仅可以改变金属材料的表面特性，如:材料表 面的力学性能、物理性能、抗腐蚀性能等，还可保证材料的光洁度与 精度，且不影响材料的基体性能。在离子束辅助沉积镀膜过程中，靶 材的位置和角度直接影响着靶材到工件的距离和角度，进而影响工件 的表面特性，此外，不同的工件形状和大小对靶材的位置和角度要求 也不尽相同。现有技术中的支撑装置无法满足不同类型的工件进行离 子束辅助沉积镀膜时对靶材的角度和距离的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种靶材的旋转移动支撑装置，以解决 现有技术中的支撑装置无法满足不同类型的工件进行离子束辅助沉 积镀膜时对靶材的角度和距离的要求的问题。

为了实现以上目的，本实用新型采用如下技术方案：一种靶材的 旋转移动支撑装置，包括导轨支架，导轨支架上滑动导向装配有工作 台，工作台上螺纹传动装配有丝杠，导轨支架的一端固定有移动电机， 移动电机通过减速器驱动丝杠转动，工作台上转动装配有旋转平台， 旋转平台上止转装配有蜗轮，蜗轮与一蜗杆啮合传动，所述蜗杆由固 定在工作台上的旋转电机驱动。

所述的蜗轮通过转轴止转装配在旋转平台上，所述转轴的下端固 定在旋转平台上，蜗轮止转装配在转轴上。

所述的蜗轮通过与转轴的一体设置止转装配在转轴上。

所述的蜗杆通过联轴器与旋转电机的输出轴连接。

本实用新型的工作台由旋转电机通过丝杠驱动沿着导轨支架移 动，用来进行位置调整，而工作台上的旋转平台由转动电机通过蜗轮 蜗杆机构驱动转动，用来进行角度调整，将靶材设置在工作台上，根 据不同工件对靶材的角度和距离的要求，调整工作台的位置，同时调 整旋转平台的角度带动靶材转动即可，使得靶材能满足不同类型的工 件进行离子束辅助沉积镀膜时对靶材的角度和距离的要求。同时，通 过调整靶材的角度和距离，提高了工件镀膜效率且保证了镀膜的均匀 性；另外，本实用新型的结构简单，不易损坏；制造简单，维护成本 低；体积小巧，可在空间有限的镀膜设备真空室内放置多个，空间利 用率高，生产效率高。

附图说明

图1是本实用新型实施例的整体结构示意图；

图2是图1的左视图；

图3是图1的俯视图。

具体实施方式

一种靶材的旋转移动支撑装置的实施例，在图1、图2以及图3 中，其导轨支架4上滑动设置有工作台3，工作台3导向设置在导轨 支架4上，也就是说，工作台只能沿着导轨支架4设定的方向移动， 工作台3的中间开设有螺纹通孔，工作台3的螺纹通孔中传动装配有 丝杠9，丝杠9的延伸方向与导轨支架4的延伸方向一样，在导轨支 架4的一端固定有移动电机1，移动电机1的输出轴通过联轴器与减 速器2的输入轴相连，减速器2的输出轴通过联轴器与丝杠9相连。 移动电机1驱动丝杠9转动，丝杠9就会驱动工作台3移动。在工作 台3上转动装配有旋转平台5，在旋转平台5上固定设置有转轴，转 轴的下端固定在旋转平台5上，在转轴上一体设置有蜗轮7，在工作 台3上固定装配有旋转电机6，旋转电机6的输出轴上通过联轴器连 接有蜗杆8，蜗杆8与蜗轮7啮合传动，旋转电机6转动就可以带动 蜗杆转动最终驱动旋转平台5转动。

在镀膜时，进行如下步骤：将靶材放置在工作台3上；靶材的移 动通过移动电机1将动力传递给减速器，减速器提供一定的转动速率 再将动力通过丝杠传递给工作台3，从而调节靶材与工件之间的距离； 旋转电机6则通过蜗杆8将动力传递给蜗轮7，蜗轮的转动带动旋转 平台5的旋转，动旋转平台5带动靶材相对于工作台转动，从而实现 靶材与工件之间的角度调整。