[实用新型]一种蒸镀坩埚有效
| 申请号： | 201620093640.6 | 申请日： | 2016-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN205347563U | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 侯汉成 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 杨依展 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于：包括坩埚本体，其具有一放置蒸镀材料的容纳腔；所述坩埚本体的侧壁和底部远离所述容纳腔的一侧分别具有第一凹陷部和第二凹陷部；所述第一凹陷部和第二凹陷部的内壁与冷却水通过的腔壁未直接接触。
2.根据权利要求1所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于：所述坩埚本体为倒置的圆锥台，所述容纳腔由所述坩埚本体的上底面向下底面延伸。
3.根据权利要求2所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于：所述容纳腔也为倒置的圆锥台。
4.根据权利要求2所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于：所述第一凹陷部为一扇环形凹陷带，其连续分布于所述坩埚本体的侧面，并使所述坩埚本体的侧面在靠近上底面和下底面的一端分别形成第一凸台。
5.根据权利要求4所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于：所述第二凹陷部为一圆柱形凹陷带，其与所述坩埚本体的下底面同心设置，并使所述坩埚本体的下底面外周形成第二凸台。
6.根据权利要求5所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于：所述第一凸台和第二凸台分别与所述冷却水通过的腔壁直接接触。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门市三安集成电路有限公司，未经厦门市三安集成电路有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201620093640.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：焊接式溅射管靶
- 下一篇：一种钢管防爆锅斜压装置
- 同类专利
- 专利分类
