[实用新型]气动悬浮式微球涂层装置

权利要求书

1.一种气动悬浮式微球涂层装置，其特征在于，包括真空室、 气流板、多个靶枪和进气管，所述气流板设置于所述真空室内，所 述多个靶枪具有靶口，所述靶口位于所述气流板上方的所述真空室 内并朝向所述气流板设置，所述气流板具有上表面和下表面以及连 接于所述上表面和所述下表面之间的第一侧面，所述气流板设有贯 通所述上表面的多个气流孔以及贯通所述第一侧面的多根导气通 道，所述多个气流孔分别与所述多根导气通道相连通，多根所述导 气通道连通所述进气管。

2.根据权利要求1所述的气动悬浮式微球涂层装置，其特征在 于，每个所述气流孔的轴线垂直于所述上表面且每个所述气流孔呈 上大下小的喇叭状。

3.根据权利要求2所述的气动悬浮式微球涂层装置，其特征在 于，所述进气管包括相互连通的第一管段和第二管段，所述第二管 段位于所述气流板的所述导气通道中，所述第一管段安装有质量流 量计。

4.根据权利要求3所述的气动悬浮式微球涂层装置，其特征在 于，所述进气管的所述第一管段的内径大于和所述第二管段的内径。

5.根据权利要求1所述的气动悬浮式微球涂层装置，其特征在 于，所述多个气流孔呈阵列排布且每个所述气流孔的轴线垂直于所 述上表面。

6.根据权利要求5所述的气动悬浮式微球涂层装置，其特征在 于，所述气流板具有与所述第一侧面相对的第二侧面，所述进气管 沿垂直于所述第二侧面的方向设置并连通所述导气通道。

7.根据权利要求1所述的气动悬浮式微球涂层装置，其特征在 于，所述靶枪为两个，两个所述靶枪沿垂直于所述上表面的面对称 设置。

8.根据权利要求7所述的气动悬浮式微球涂层装置，其特征在 于，两个所述靶枪的所述靶口朝向相互靠近的方向倾斜设置。

9.根据权利要求1所述的气动悬浮式微球涂层装置，其特征在 于，所述进气管由聚四氟乙烯管制成。

10.根据权利要求3或4所述的气动悬浮式微球涂层装置，其特 征在于，所述第一管段的内径为3mm～4mm，所述第二管段的内径 为0.5mm～0.8mm。