[实用新型]一种二极管清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体二极管的清洗工具技术领域，具体涉及一种二极管清洗装置。

背景技术

半导体二极管之生产制造过程中，针对O/J系列材料，清洗是最重要之环节，清洗过程是比较敏感和专业的工艺过程，直接影响到二极管的品质。清洗操作以利于各种清洗液对晶粒进行作用反应（包括弱蚀/钝化/络合等），但其反应后之反应产物（如残液、络合物、氧化物、金属离子等杂质）无法保证能彻底清洗干净，进而影响其清洗效果，导致产品之稳定可靠性无法保证。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种二极管清洗装置，其操作方便，清洗效果明显优于传统之清洗模式效果，从根本上解决了清洗过程中因清洗效果不佳而导致二极管产品无法保证其品质可靠性的技术难题。

本实用型新型采用的技术方案如下。

一种二极管清洗装置，包括相互平行的顶面平齐的左纵向导轨、右纵向导轨；左纵向导轨右侧面、右纵向导轨的左侧面均设有凸棱，两凸棱的顶面平齐，两凸棱的顶面放置有若干呈长方体状的载料板，载料板与载料板驱动装置相连，在载料板驱动装置的带动下载料板可沿两凸棱的顶面纵向运动。

左纵向导轨的中部的正上方设有平行于左纵向导轨的顶面的可沿其中轴线旋转的左纵喷管,右纵向导轨的中部的正上方设有平行于右纵向导轨的顶面的可沿其中轴线旋转的右纵喷管；左纵喷管、右纵喷管的长度均等于载料板的长度，左纵喷管、右纵喷管的前端平齐，左纵喷管、右纵喷管上各设有一纵排喷孔。设有左纵喷管、右纵喷管是为了从不同方位清洗二极管，解决现有技术中冲洗容易有死角的问题。

左纵向导轨的左面设有左立板，左立板的右侧面上距左纵向导轨的顶面一定高度处通过两连接座铰接有纵旋转轴，纵旋转轴的中轴线平行于左纵向导轨的顶面；纵旋转轴上通过连接板连接有顶部设有开口的喷管封盖；喷管封盖的右端的中部通过连接绞与垂向拉杆铰接；垂向拉杆与垂向拉杆驱动装置相连；左纵喷管的前、后端的正下方均设有垂向顶杆，垂向顶杆的顶面的位于左纵向导轨的下侧面以下，垂向顶杆与垂向顶杆驱动装置相连。喷管封盖可有效组织液料飞溅污染其他载料板，顶部设有开口是为了便于观察。

当某一载料板通过左纵喷管、右纵喷管的正下方时，在垂向顶杆的推动下，该载料板沿其右侧边旋转一定角度，在垂向拉杆的推动下，纵旋转轴转动一定角度使喷管封盖封住左纵喷管、右纵喷管及该载料板；此时，左纵喷管、右纵喷管上的喷孔以一定角度喷出清洗液将载料板上的二极管冲洗干净。

作为优选的技术方案，左纵喷管的前端连接有左套管，左套管螺纹连接在左进液分管上，左套管上设有左转动杆；右纵喷管的前端连接有右套管，右套管套装在右进液分管上，右套管上设有右转动杆。设有左转动杆、右转动杆，可以微调左纵喷管、右纵喷管的喷淋方向。

作为优选的技术方案，左进液分管上设有左阀门、右进液分管上设有右阀门。设有阀门，可以控制左进液分管、右进液分管的进液量。

作为优选的技术方案，左进液分管、右进液分管与进液横管相连，进液横管与液料箱相连；左进液分管放置在支架上，支架安装在左立板上。

作为优选的技术方案，右纵向导轨上右纵喷管的右侧位置连接有导液板，导液板向右纵向导轨的右侧倾斜。设有导液板可有效防止液料飞溅。

作为优选的技术方案，导液板的前端设有前挡液板、导液板的后端设有后挡液板；导液板通过立板安装在紧贴右纵向导轨右侧面设置的平台上。前挡液板、后挡液板可有效防止液料飞溅。

作为优选的技术方案，导液板的右侧设有导液槽。设有导液槽便于回收液料。

作为优选的技术方案，载料板驱动装置包括传动履带，传动履带位于左纵向导轨、右纵向导轨之间且平行于左纵向导轨、右纵向导轨，传动履带的顶面与左纵向导轨右侧面、右纵向导轨的左侧面上的凸棱的顶面在同一平面内，载料板放置在传动履带的顶面上。

作为优选的技术方案，左纵向导轨安装在左纵向导轨底座上，右纵向导轨安装在右纵向导轨底座上。

作为优选的技术方案，左纵向导轨、右纵向导轨之间的距离略大于载料板的宽度。

本实用新型的有益效果是：左纵喷管、右纵喷管上的喷孔喷出清洗液可将载料板上的二极管各个部位的冲洗干净，从而有效减少二极管反向漏电，提升二极管产品的可靠性。左纵喷管、右纵喷管可以转动，从而可以调节清洗液喷出的角度，使清洗更加有效；设有喷管封盖，可以防止清洗液飞溅，污染其他载料板上的二极管；设有导液板、导液槽，可用于回收清洗液。

附图说明