[实用新型]一种多晶硅用超纯水处理系统有效
| 申请号： | 201620200659.6 | 申请日： | 2016-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN205382049U | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | 蒋涛;洪涛 | 申请（专利权）人： | 上海阳昕设备工程有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/08 | 分类号： | C02F9/08 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人： | 蒋常雪 |
| 地址： | 200336 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 超纯水 处理 系统 | ||
1.一种多晶硅用超纯水处理系统，其特征在于：包括原水箱（1）、介质过滤装置（3）、活性炭过滤装置（4）、软化装置（5）、精密过滤器（6）、RO反渗透装置（7）、EDI电除盐装置（11）、臭氧反应装置（12）和紫外消毒装置（13），所述原水箱（1）一侧连接有原水泵（2），所述原水泵（2）一侧连接有介质过滤装置（3），所述介质过滤装置（3）一侧连接有活性炭过滤装置（4），所述活性炭过滤装置（4）一侧连接有软化装置（5），所述软化装置（5）一侧连接有精密过滤器（6），所述精密过滤器（6）一侧连接有RO反渗透装置（7），所述RO反渗透装置（7）一侧设置有EDI电除盐装置（11），所述EDI电除盐装置（11），所述EDI电除盐装置（11）一侧设置有臭氧反应装置（12）。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅用超纯水处理系统，其特征在于：所述臭氧反应装置（12）一侧设置有紫外消毒装置（13）。
3.根据权利要求2所述的一种多晶硅用超纯水处理系统，其特征在于：所述紫外消毒装置（13）一侧设置有纯水池（14）。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅用超纯水处理系统，其特征在于：所述RO反渗透装置（7）与EDI电除盐装置（11）之间设置有高压水泵（10）。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅用超纯水处理系统，其特征在于：所述RO反渗透装置（7）一侧设置有浓水池（8），所述浓水池（8）一侧设置有排放池（9）。
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