[实用新型]一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置有效
| 申请号： | 201620321884.5 | 申请日： | 2016-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN205599642U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 孟鑫;李旺;陈阳泉;钱金梁 | 申请（专利权）人： | 润峰电力有限公司 |
| 主分类号： | B08B15/02 | 分类号： | B08B15/02;B08B5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 272000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清理 pecvd 石墨 舟舟内 粉尘 辅助 装置 | ||
【权利要求书】：
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