[实用新型]一种蓝宝石晶棒垂直度测量装置有效
申请号: | 201620363807.6 | 申请日: | 2016-04-27 |
公开(公告)号: | CN206479133U | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 沈蓓颖;李秦霖;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 | 申请(专利权)人: | 上海超硅半导体有限公司 |
主分类号: | G01B5/245 | 分类号: | G01B5/245 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201604 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 垂直 测量 装置 | ||
1.一种蓝宝石晶棒垂直度测量装置,其特征在于:竖直支架(2)、挡块(7)和量块(8)垂直固定于基座(1)上;测量千分表(5)通过螺丝(10)固定在水平支架(3)上,且与基座(1)的平面平行;水平支架(3)通过螺丝(4)垂直固定于竖直支架(2)上,且与量块(8)垂直。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶棒垂直度测量装置,其特征在于所述测量千分表(5)的测针针尖距离基座(1)的高度d为40-60mm。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石晶棒垂直度测量装置,其特征在于所述挡块(7)的上下平面必须是标准面,高度不大于20mm。
4.根据权利要求1所述的蓝宝石晶棒垂直度测量装置,其特征在于所述基座(1)的材质可为合金白口铸铁、耐磨铸钢、大理石。
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