[实用新型]一种具有清洁装置的碳化硅抛光机有效
| 申请号： | 201620383539.4 | 申请日： | 2016-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN205703774U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 宗艳民 | 申请（专利权）人： | 山东天岳晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/06 | 分类号： | B24B55/06 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250118 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 清洁 装置 碳化硅 抛光机 | ||
【权利要求书】：
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