[实用新型]一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构有效
| 申请号： | 201620402899.4 | 申请日： | 2016-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN205592628U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 张志东;曹慧亮;吴景;郭戌瑞;仇彦男;张日欣;张增磊;薛日辉;杜嘉丽 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | F16P7/00 | 分类号： | F16P7/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;王勇 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 过载 环境 mems 器件 激活 机构 | ||
【说明书】：
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