[实用新型]一种ALD源专用惰性气氛循环手套箱循环系统装置有效
| 申请号： | 201620415755.2 | 申请日： | 2016-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN205735031U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏州复纳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J21/02 | 分类号： | B25J21/02;B01D53/04 |
| 代理公司： | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 | 代理人： | 赵丽丽 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ald 专用 惰性 气氛 循环 手套 循环系统 装置 | ||
【权利要求书】：
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