[实用新型]一种高精度真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201620435527.1 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN205576266U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 关振奋 | 申请（专利权）人： | 晋谱（福建）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 黄以琳;林祥翔 |
| 地址： | 351111 福建省莆田市高新技*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 真空镀膜 装置 | ||
【说明书】：
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