[实用新型]直立式靶材结构以及溅镀设备有效
| 申请号： | 201620450325.4 | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN205590795U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 巫喜钰;蔡博旭 | 申请（专利权）人： | 中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人： | 王正茂;丛芳 |
| 地址： | 中国台湾桃园*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 立式 结构 以及 设备 | ||
【权利要求书】：
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