[实用新型]一种基于MEMS的电容式红外气体传感器有效
| 申请号： | 201620455500.9 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN205786303U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 顾芳;孙亚飞;张加宏;李敏 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01N21/3518 | 分类号： | G01N21/3518 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司32252 | 代理人： | 戴朝荣 |
| 地址： | 210019 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 电容 红外 气体 传感器 | ||
【说明书】：
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