[实用新型]用于在氧化锌陶瓷基片上溅射镀膜形成电极层的掩膜夹具有效
| 申请号： | 201620501560.X | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN206069986U | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 叶文超 | 申请（专利权）人： | 苏州米盟智能装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01C17/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 氧化锌 陶瓷 基片上 溅射 镀膜 形成 电极 夹具 | ||
【权利要求书】：
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