[实用新型]硅片盒检测架有效
| 申请号： | 201620506869.8 | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN205785162U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 林玉往;常清;吴宝佳 | 申请（专利权）人： | 江苏有则科技集团有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/32 | 分类号： | G01B21/32;G01B5/00 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 213031 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 检测 | ||
【权利要求书】：
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