[实用新型]一种用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置

权利要求书

1.一种用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置，用于将两个空间连通的部件进行气体隔离，包括主体、充气装置和法兰，其中，

所述主体(1)为筒状，具有两个开口端，连接两个开口端的方向为轴向，垂直于轴向的方向为侧向；

所述主体(1)在其轴向的中部位置具有隔板(11)、该隔板(11)将筒状的内部空间隔成两个腔室；

所述隔板(11)上开有外气流通道(12)，其连通所述两个腔室；

在所述隔板(11)内并在所述外气流通道(12)的侧面，沿所述主体的侧向开有内气流通道(13)，所述内气流通道(13)连接所述充气装置；

所述充气装置经由所述内气流通道(13)和外气流通道(12)向主体内部通入清洁气体；

所述法兰用于将所述主体的两个开口端与需要进行气体隔离的部件密封连接。

2.如权利要求1所述的用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置，其特征在于，所述外气流通道(12)的两个开口端的孔径存在差值，即分为窄口端和宽口端，且窄口端和宽口端分别与清洁真空腔室和超清洁真空腔室相连通。

3.如权利要求1所述的用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置，其特征在于，所述充气装置包括外部清洁气源、气体质量流量控制器、充气阀门(2)和管道(3)，所述管道(3)贯通于所述隔板(11)内并与所述内气流通道(13)连通。

4.如权利要求3所述的用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置，其特征在于，

所述充气阀门(2)、管道(3)和内气流通道(13)分别都具有两个，各对称分布于所述隔板(11)的两侧。

5.如权利要求1所述的用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置，其特征在于，所述内气流通道(13)内设有至少一个匀流板，所述清洁气体经过所述匀流板流入所述外气流通道(12)。

6.如权利要求5所述的用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置，其特征在于，每个所述内气流通道(13)内设有四级匀流板(14、15、16、17)，且越靠近所述充气装置的匀流板漏孔越稀疏、孔径越大，越靠近所述外气流通道(12)的匀流板的漏孔越密、孔径越小。

7.如权利要求6所述的用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置，其特征在于，所述充气装置包括管道(3)，所述管道(3)贯通于所述隔板(11)内并与所述内气流通道(13)连通；

最靠近所述充气装置的一级匀流板(14)在正对管道、且在管道内直径的1～2倍直径区域不布置漏孔。

8.如权利要求5所述的用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置，其特征在于，所述内气流通道(13)内设有多级匀流板，各级匀流板的有效漏孔面积之和近似相等。

9.如权利要求1所述的用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置，其特征在于，所述内气流通道(13)为喇叭口状，其窄口端靠近所述外气流通道(12)。

10.如权利要求3所述的用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置，其特征在于，所述管道为并排的多个管道，所述多个管道共同连通到所述内气流通道。