[实用新型]静止平台LDI曝光机有效
| 申请号： | 201620549867.7 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN206270653U | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 茆晓华 | 申请（专利权）人： | 江苏影速光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所32220 | 代理人： | 周爱芳 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 静止 平台 ldi 曝光 | ||
【权利要求书】：
1.一种静止平台LDI曝光机，其特征在于，包括曝光平台（1）和曝光光路（2），曝光光路（2）设置在曝光平台（1）的两侧面，曝光光路（2）由若干子光路（3）组成，子光路（3）包括支撑板（34）、二维震镜（31）、激光器（32）和f-theta镜（33），二维震镜（31）、激光器（32）和f-theta镜（33）均设置在支撑板（34）上，两个二维震镜（31）设置在支撑板（34）的一侧，激光器（32）设置在其中一个二维震镜（31）的上方，f-theta镜（33）设置在支撑板（34）的一侧，位置与另一个二维震镜（31）对应。
2.根据权利要求1所述的一种静止平台LDI曝光机，其特征在于，所述曝光平台（1）两侧设置的曝光光路（2）位置对称，结构相同。
3.根据权利要求2所述的一种静止平台LDI曝光机，其特征在于，所述曝光光路（2）由m*n个子光路矩阵组成，m为行，n为列。
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