[实用新型]一种半自动曝光生产线有效
| 申请号： | 201620634672.2 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN206074993U | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 倪沁心;梁添贵;陈建明 | 申请（专利权）人： | 广东华恒智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司44215 | 代理人： | 何树良 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半自动 曝光 生产线 | ||
【权利要求书】：
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