[实用新型]可旋转电子束加热样品台有效
申请号: | 201620663317.8 | 申请日: | 2016-06-29 |
公开(公告)号: | CN206204407U | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 吴凯 | 申请(专利权)人: | 常州东传新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;C23C14/50 |
代理公司: | 常州市夏成专利事务所(普通合伙)32233 | 代理人: | 陈冰 |
地址: | 213000 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 旋转 电子束 加热 样品 | ||
1.一种可旋转电子束加热样品台,包括加热台(1)和底座(2),其特征是,所述加热台(1)上设有半圆凹槽(3),半圆凹槽(3)底部中心设有中心孔(4),半圆凹槽(3)两侧通过转轴(5)连接有V型弹簧夹片(6),半圆凹槽(3)上方设有转动上盖(7)。
2.根据权利要求1所述的可旋转电子束加热样品台,其特征是,所述转动上盖(7)由两个扇形盖板(7-1)构成,扇形盖板(7-1)拼接处设有转动销(7-2)。
3.根据权利要求2所述的可旋转电子束加热样品台,其特征是,所述转动销(7-2)设在半圆凹槽(3)两侧。
4.根据权利要求1所述的可旋转电子束加热样品台,其特征是,所述半圆凹槽(3)和转动上盖(7)内壁均覆有铜皮层(8)。
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