[实用新型]一种硅通孔结构有效
| 申请号： | 201620717172.5 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN206210778U | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 李春泉;谢星华;黄红艳;尚玉玲;张明;周远畅;谢小天 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L23/48 | 分类号： | H01L23/48;H01L21/768 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司45112 | 代理人： | 刘梅芳 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅通孔 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅通孔结构，包括基底，其特征是，所述基底设有通孔，通孔贯穿基底的正面和背面，所述通孔与基底的接触面间设有绝缘层，通孔的两端设有凸起块；
所述通孔由分别从基底的正面和背面相向刻蚀的第一盲孔和第二盲孔贯通形成；
所述通孔的数量为至少2个。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于桂林电子科技大学，未经桂林电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201620717172.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可控制动感座椅的视频播放装置及其实现方法
- 下一篇：一种智能功率模块
