[实用新型]用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉

权利要求书

1.用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉，包括炉体(1)，所述炉体(1)内部设有石墨坩埚(2)，所述石墨坩埚(2)底部通过坩埚轴(3)与炉体(1)底部相固定，所述石墨坩埚(2)内设有石英坩埚(4)，石墨坩埚(2)外侧设置有侧部加热器(5)，所述炉体(1)侧壁上设置有抽气孔(6)，还包括氩气管(7)与氩气源(15)，所述氩气源(15)与氩气管(7)通过进气管(14)相连，所述氩气管(7)的末端穿过炉体(1)伸入到石英坩埚(4)内，其特征在于：所述氩气管(7)上设置有流量控制阀(8)，所述流量控制阀(8)上连接有控制开关(9)，所述控制开关(9)上连接有计时器(10)。

2.如权利要求1所述的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉，其特征在于：所述石墨坩埚(2)的底部设置有底部加热器(11)，所述底部加热器(11)与侧部加热器(5)为一体式结构。

3.如权利要求2所述的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉，其特征在于：所述进气管(14)上设置有气体预热装置(16)，所述气体预热装置(16)包括密闭的空腔(161)，所述空腔(161)内设置有换热管(162)，所述换热管(162)的两端分别延伸至空腔(161)外并与进气管(14)连通，所述氩气源(15)内的氩气依次沿进气管(14)、换热管(162)、氩气管(7)流入石英坩埚(4)内，所述换热管(162)与空腔(161)的连接处密封，所述空腔(161)上连接有引气管(163)与排气管(164)，所述引气管(163)的一端与炉体(1)上设置的抽气孔(6)连通，引气管(163)的另一端与空腔(161)内部连通，所述引气管(163)上设置有抽气泵(165)，所述排气管(164)与空腔(161)内部连通。

4.如权利要求3所述的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉，其特征在于：所述换热管(162)为金属盘管。

5.如权利要求4所述的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉，其特征在于：所述换热管(162)采用铜管制作而成。

6.如权利要求5所述的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉，其特征在于：所述炉体(1)内设置有保温筒(12)，石墨坩埚(2)、石英坩埚(4)、侧部加热器(5)、底部加热器(11)均位于保温筒(12)内。

7.如权利要求6所述的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉，其特征在于：所述炉体(1)与保温筒(12)之间设置有保温毡(13)。

8.如权利要求7所述的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉，其特征在于：所述保温筒(12)的内壁上涂有热辐射反射层(17)。