[实用新型]一种全自动植球装置有效
| 申请号： | 201620730924.1 | 申请日： | 2016-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN206216074U | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 刘劲松;邱进军;陈桦明 | 申请（专利权）人： | 上海微松工业自动化有限公司 |
| 主分类号： | B23K3/06 | 分类号： | B23K3/06;B23K101/40 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司31225 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 201112 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种全自动植球装置，其特征在于，该装置包括供球机构、植球网板(5)及六轴机械手(7)，
所述的供球机构包括供球盒(4)、供球管(1)、供球气缸(2)及直线模组(8)，所述的供球盒(4)可拆卸式连接在直线模组(8)上，与供球管(1)连通，所述的供球气缸(2)开闭动作使供球盒(4)中的焊锡球通过供球管(1)均匀分布在植球网板(5)的一侧，
所述的植球网板(5)上加工与晶圆PAD点相对应、用于锡球漏入的网孔，
所述的六轴机械手(7)固定在植球网板(5)旁侧，通过植球刮板(6)沿设定路径将供球机构供应的焊锡球通过植球网板(5)植到晶圆上。
2.根据权利要求1所述的一种全自动植球装置，其特征在于，所述的供球气缸(2)控制供球管(1)在Z向的自由度。
3.根据权利要求1所述的一种全自动植球装置，其特征在于，所述的直线模组(8)控制供球管(1)在X向的自由度。
4.根据权利要求1所述的一种全自动植球装置，其特征在于，所述的供球机构还包括检测供球盒(4)中焊锡球数量的锡球余量检测传感器(3)。
5.根据权利要求1所述的一种全自动植球装置，其特征在于，所述的植球网板(5)上设有多个检测焊锡球植入量的激光传感器(12)。
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