[实用新型]在线测量能量的极紫外辐照损伤测试装置有效
| 申请号： | 201620734229.2 | 申请日： | 2016-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN206114488U | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 谢婉露;吴晓斌;陈进新;王魁波;张罗莎;罗艳;周翊;王宇;崔惠绒 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01N17/00 | 分类号： | G01N17/00;G01J1/42 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 乔东峰 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 在线 测量 能量 紫外 辐照 损伤 测试 装置 | ||
【说明书】：
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