[实用新型]一种镀膜机真空室恒压自动控制系统有效
| 申请号： | 201620751949.X | 申请日： | 2016-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN205839123U | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 韩登科;张朝奎;于有河 | 申请（专利权）人： | 大连维钛克科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116113 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 真空 室恒压 自动控制系统 | ||
【说明书】：
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