[实用新型]硅片清洗系统有效
申请号: | 201620762668.4 | 申请日: | 2016-07-18 |
公开(公告)号: | CN205762630U | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 吕海强;郑安;黄杨康 | 申请(专利权)人: | 浙江金乐太阳能科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04 |
代理公司: | 慈溪慈恒专利代理事务所(特殊普通合伙)33249 | 代理人: | 戚秋鹏 |
地址: | 315200 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 清洗 系统 | ||
【说明书】:
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