[实用新型]一种硅片甩干桶的开门自动化装置有效
申请号: | 201620764729.0 | 申请日: | 2016-07-20 |
公开(公告)号: | CN205940102U | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 李斌 | 申请(专利权)人: | 洛阳鸿泰半导体有限公司 |
主分类号: | F26B25/12 | 分类号: | F26B25/12;F26B5/08 |
代理公司: | 洛阳明律专利代理事务所(普通合伙)41118 | 代理人: | 李路平 |
地址: | 471023 河南省洛阳市高*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 甩干桶 开门 自动化 装置 | ||
【说明书】:
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