[实用新型]一种硅片转移装置

权利要求书

1.一种硅片转移装置，其特征在于包括承载板、挡板、硅片卡槽及伸缩装置，所述挡板位于承载板两侧，所述硅片卡槽位于挡板之间的承载板上，所述硅片卡槽内部底端设置有缓冲垫，所述伸缩装置与承载板或挡板中的其中一个固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片转移装置，其特征在于所述伸缩装置为伸缩杆或气缸、液压缸中的一种。

3.根据权利要求1所述的一种硅片转移装置，其特征在于作为优选，所述缓冲垫为海绵垫或泡沫板中的一种。