[实用新型]一种用于多晶硅坩埚的护板有效
申请号: | 201620800522.4 | 申请日: | 2016-07-28 |
公开(公告)号: | CN206127476U | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 金晓荣;李胜忠;赵春峰;朱海峰;孟庆雷 | 申请(专利权)人: | 浙江精功新能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 绍兴市越兴专利事务所(普通合伙)33220 | 代理人: | 蒋卫东 |
地址: | 312000 浙江省绍*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 多晶 坩埚 | ||
1.一种用于多晶硅坩埚的护板,包括护板,其特征在于:还包括由底补边和侧补边组成的L形补边,L形补边由碳纤维一体成型,且可拆卸式地安装于护板上,其中底补边与护板的底边紧密贴合,侧补边与护板的其中一侧边紧密贴合,安装上L形补边后护板由适用于G5热场结构的坩埚转换成适用于G6热场结构的坩埚。
2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅坩埚的护板,其特征在于:所述L形补边通过石墨螺栓可拆卸式地紧固在护板上,石墨螺栓沿着底补边和侧补边的长度方向等间距分布,且当石墨螺栓紧固住L形补边时,石墨螺栓完全嵌入至L形补边内。
3.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅坩埚的护板,其特征在于:所述护板上与侧补边相对的另一端开设有一列贯穿护板厚度方向的螺栓孔一,护板与侧补边贴合的端面上以及侧补边的外端面上分别开设有一列螺栓孔二,螺栓孔一与螺栓孔二一一对应设置,且护板上的螺栓孔一与安装在坩埚上相邻护板上的螺栓孔二组成了完整的螺栓孔。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江精功新能源有限公司,未经浙江精功新能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201620800522.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:镀铜处理池
- 下一篇:一种加压式多晶硅坩埚模具