[实用新型]一种加速度计探头及加速度计系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种加速度计系统，特别是涉及一种具有应力集中结构并且基于薄膜体声波谐振器的加速度计系统、加速度计探头及其制备方法。

背景技术

加速度计是一种常见的惯性传感器，被广泛使用在航空航天和消费电子等领域。

随着消费电子的体积逐渐减小，功耗逐渐降低，现有加速度计的制备也普遍使用微机电系统(Microelectromechanical Systems，MEMS)的方法来减小体积、降低功耗，从而适应其发展。

现今，电容式加速度计是最普遍的一种，通过测量电容变化来得出加速度的大小。现有技术中，通常采用微机电系统(Microelectromechanical Systems，MEMS)的方法制备电容式加速度计，其主要由质量块、弹性梁、电容极板等构成。通过检测由加速度引起的质量块与电容极板之间的电容差，可以得到加速度的大小，但是此过程加速度计对寄生电容比较敏感。此外，微机电系统(Microelectromechanical Systems，MEMS)的电容式加速度计还需要外围读出电路对其施加一定的静电力，通过闭环反馈力平衡技术保证零频、高分辨率和自检功能，此过程增加了外围读出电路的复杂度。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供了一种加速度计系统以实现加速度测量的高灵敏度和高分辨率，避免了电容式微机电系统(Microelectromechanical Systems，MEMS)的加速度计寄生电容干扰和结构复杂的缺点。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种加速度系统、加速度计探头及其制备方法：

一种加速度计探头，其特征在于：加速度计探头包括应力集中结构、薄膜体声波谐振器、支撑固定结构和薄膜体声波谐振器的电极焊盘；应力集中结构通过支撑固定结构固定在加速度计探头上；薄膜体声波谐振器通过薄膜体声波谐振器的电极焊盘与射频振荡电路的选频网络端相连。

加速度计探头包含一种应力集中结构，应力集中结构包括至少一个质量块和多个所述应力集中桥。

加速度计探头具有多个薄膜体声波谐振器，多个薄膜体声波谐振器位于多个应力集中桥上并且靠近固定端。

优选地，应力集中结构其中的应力集中桥包含第一氮化硅、二氧化硅、第二氮化硅三种薄膜。

优选地，上述的第一氮化硅薄膜和第二氮化硅薄膜厚度可以相同也可不同。

优选地，上述的薄膜体声波谐振器的顶电极和底电极材料为钼；薄膜体声波谐振器的压电层材料为氮化铝。

优选地，如实施例所示，所述固定端为对角线方向。

一种加速度计系统，其特征在于，加速度系统包括：加速度计探头、射频振荡电路和频谱仪；其中，加速度计探头，用于探测加速度并且将加速度转化为薄膜体声波谐振器的频率变化；射频振荡电路与加速度探头中的薄膜体声波谐振器相连，用于根据薄膜体声波谐振器的频率变化输出不同频率的射频振荡信号；频谱仪，用于读出射频振荡信号的频率变化。

薄膜体声波谐振器的结构包括底电极、压电层和顶电极。

射频振荡电路包括，多个并排的CMOS反相器、至少一个MOS管、多个电容、至少一个选频网络端、至少一个信号输出端和至少一个偏压输入端。

射频振荡电路是一个皮尔斯振荡电路。

频谱仪为商用频谱仪，用于测量吉赫(GHz)的射频信号。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

(1)本实用新型采用具有大质量块的桥式应力集中结构，具有应力放大效果，可以提高系统测量加速度的灵敏度。

(2)加速度的大小通过频谱仪测量由薄膜体声波谐振器作为选频网络部件的射频振荡电路输出射频振荡信号频率的变化得出，避免了电容式微机电系统(Microelectromechanical Systems，MEMS)加速度计寄生电容干扰和结构复杂的缺点。

(3)由于射频振荡电路输出射频振荡信号的频率在吉赫(GHz)，而加速度引起的频率变化在千赫(KHz)，具有更优异的分辨率。

(4)加速度计探头采用微机电系统(Microelectromechanical Systems，MEMS)方法制备，具有体积小、功耗低、能够批量生产的优点。

附图说明

图1为本实用新型的一种加速度计系统的框图；

图2为本实用新型的一种加速度计系统的加速度计探头图；

图3为本实用新型的一种加速度计系统的射频振荡电路图；

具体实施方式