[实用新型]一种太阳能电池生产工艺用活塞式硅片漂洗装置有效
| 申请号： | 201620906207.X | 申请日： | 2016-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN205966604U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 虞旺 | 申请（专利权）人： | 虞旺 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 生产工艺 活塞 硅片 漂洗 装置 | ||
【权利要求书】：
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