[实用新型]一种用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置

权利要求书

1.一种用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置，其特征在于，包括:

光源，所述光源用于发出检测光；

分束器，所述分束器接收所述检测光，将所述检测光进行分束，形成两路光束；

第一反射镜，所述第一反射镜接收所述两路光束，并将所述两路光束以对称方式传输，使所述两路光束从不同方向斜入射至待测晶圆上，形成光斑；

其中，所述两路光束与所述待测晶圆垂直法线之间的夹角相同，所述两路光束在所述待测晶圆上形成的所述光斑完全重叠；

所述两路光束从所述分束器至所述待测晶圆上经过的光程相同。

2.如权利要求1所述的用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置，其特征在于，所述光源为连续输出的激光光源或者准连续输出的激光光源。

3.如权利要求1所述的用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置，其特征在于，所述装置还可以包括功率偏振调节模块，所述功率偏振调节模块排布在所述光源后，所述功率偏振调节模块用于将所述光源调节为功率稳定的p偏振光。

4.如权利要求1所述的用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置，其特征在于，所述装置还可以包括排布在所述光源和所述分束器之间的第二反射镜，所述第二反射镜接收所述检测光，并改变所述检测光的传输方向。

5.如权利要求1所述的用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置，其特征在于，所述装置还可以包括扩束准直镜，所述扩束准直镜排布在所述分束器前，所述扩束准直镜接收所述检测光后将所述检测光放大或/和准直。

6.如权利要求5所述的用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置，其特征在于，所述扩束准直镜可以由两个高透过率球面镜组成。

7.如权利要求5所述的用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置，其特征在于，所述扩束准直镜的扩大倍数为五倍。

8.如权利要求1所述的用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置，其特征在于，所述装置还可以包括会聚透镜，所述会聚透镜排布在所述分束器后，所述会聚透镜接收所述检测光，并调整所述检测光的光斑尺寸。

9.如权利要求8所述的用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置，其特征在于，所述会聚透镜为球面镜。

10.如权利要求1所述的用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置，其特征在于，所述两路光束与所述待测晶圆垂直法线之间的夹角为75°。