[实用新型]自动化单晶硅切片机有效
申请号: | 201620934373.0 | 申请日: | 2016-08-25 |
公开(公告)号: | CN206264171U | 公开(公告)日: | 2017-06-20 |
发明(设计)人: | 朱汪龙;朱玲;袁亚彬 | 申请(专利权)人: | 无锡乐东微电子有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00 |
代理公司: | 江苏英特东华律师事务所32229 | 代理人: | 朱清韵 |
地址: | 214135 江苏省无锡市无锡新区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动化 单晶硅 切片机 | ||
技术领域
本实用新型涉及单晶硅技术领域,尤其涉及单晶硅生产设备技术领域,具体是指一种自动化单晶硅切片机。
背景技术
单晶硅片是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,广泛用于制造半导体器件、太阳能电池等,而单晶硅片则是通过切片机有序的从硅棒上加工出来。
目前市场上出现了很多种单晶硅切片机,然而,现有技术中的切片机普遍存在如下问题:
(1)在切割的时候会产生大量的硅片雾,如果这些雾不排出去的话,被人吸入之后会对人体造成损害,而且还会使得切片机上覆盖上一层硅粉,导致散热出现问题,使得机器损害,而一般的单晶硅切片机的排雾系统都是靠手动去操作开关的,这样容易出现当打开机器以后,由于不能及时的打开排雾系统,导致出现生产安全事故,或是提早打开了排雾系统,浪费资源不说,而且也可能会出现一些故障;
(2)目前的单晶硅片生产无法实现自动化,必需要有操作工人一直站在机器旁操作,进行取料和上料,并实时观察单晶硅的切片状况。这样会造成人力物力的损失,不利于单晶硅的大规模生产,并且由于切割时产生大量的硅片雾,对于操作工人的身体健康也有一定的无法避免的损害。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服了上述现有技术的缺点,提供了一种能够实现全自动化生产、实时监控切片机工作、在切割时自动打开排雾系统、结构简单、应用方便、具有更广泛应用范围的自动化单晶硅切片机。
为了实现上述目的,本实用新型具有如下构成:
该自动化单晶硅切片机,其主要特点是,所述的切片机包括上料机械手、切割平台、切割刀架、摄像装置、下料机械手、输送带和控制器,所述的上料机械手、下料机械手、切割刀架、摄像装置和输送带均与所述的控制器相连接,所述的摄像装置的摄像头对准所述的上料机械手、切割平台和输送平台,所述的切割平台在所述的上料机械手的移动范围内,所述的输送带和切割平台均在所述的下料机械手的移动范围内,所述的输送带连接至切割平台的一端。
较佳地,所述的摄像装置包括三个摄像机,所述的三个摄像机的摄像头分别对准所述的上料机械手、切割平台和输送平台。
较佳地,所述的输送带的下端设置有重量传感器,所述的重量传感器与所述的控制器相连接。
较佳地,所述的控制器同时与一远程控制设备和一存储设备相连接。
较佳地,所述的控制器上设置有显示屏幕和输入键盘,所述的输入键盘包括九宫格输入区域和一键求助按钮。
较佳地,所述的切片机上还设置有排雾设备,所述的排雾设备包括排雾风扇和排雾管,所述的排雾管设置于所述的切片机的上方,所述的排雾风扇设置于所述的排雾管的一端。
更佳地,所述的排雾管为塑料排雾管。
较佳地,所述的控制器还连接有一报警设备。
更佳地,所述的报警设备为声光报警器。
采用了该实用新型中的自动化单晶硅切片机,具有如下有益效果:
(1)通过设置上料机械手、下料机械手和输送带,实现了自动上料、切割、下料和传送的过程,从而实现了单晶硅切片的全自动化过程,应用十分方便,无需工作人员站在切片机旁边一直操作,节省了人力物力;
(2)设置摄像装置对整个切片过程进行监控,通过远程控制设备可以查看实时的拍摄视频,从而判断过程中是否出现故障,也可以通过远程控制设备远程操控切片步骤;
(3)设置排雾设备,在切片开始时同步打开排雾设备,消除硅片雾;
(4)该单晶硅切片机整体结构简单,应用方便,适用于大规模推广应用。
附图说明
图1为本实用新型的自动化单晶硅切片机的电路结构示意图。
具体实施方式
为了能够更清楚地描述本实用新型的技术内容,下面结合具体实施例来进行进一步的描述。
本实用新型提供了一种自动化单晶硅切片机,所述的切片机包括上料机械手、切割平台、切割刀架、摄像装置、下料机械手、输送带和控制器,所述的上料机械手、下料机械手、切割刀架、摄像装置和输送带均与所述的控制器相连接,所述的摄像装置的摄像头对准所述的上料机械手、切割平台和输送平台,所述的切割平台在所述的上料机械手的移动范围内,所述的输送带和切割平台均在所述的下料机械手的移动范围内,所述的输送带连接至切割平台的一端。
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