[实用新型]一种气体特性参数测量仪有效
申请号: | 201620938955.6 | 申请日: | 2016-08-25 |
公开(公告)号: | CN206300676U | 公开(公告)日: | 2017-07-04 |
发明(设计)人: | 张小亮;徐朝辉;周慧锋;陈志辉 | 申请(专利权)人: | 郑州光力科技股份有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02 |
代理公司: | 郑州睿信知识产权代理有限公司41119 | 代理人: | 贾东东 |
地址: | 450001 河南省郑*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 气体 特性 参数 测量仪 | ||
1.一种气体特性参数测量仪,包括壳体,壳体上设有气体流动通道和用于对气体流动通道中的气体进行相应特性参数测量的参数测量传感器,其特征在于:所述气体流动通道中于所述参数测量传感器的上游布置有用于对气体进行冷凝除湿的冷凝装置。
2.根据权利要求1所述的气体特性参数测量仪,其特征在于:所述气体流动通道沿上下方向延伸,气体流动通道连通有进气口和出气口,所述进气口为布置在所述气体流动通道底部以将所述冷凝装置滴落的冷凝水排出的排水口。
3.根据权利要求2所述的气体特性参数测量仪,其特征在于:所述排水口位于所述冷凝装置下方,排水口具有朝向所述气体流动通道并用于承接所述冷凝水的内侧口沿。
4.根据权利要求3所述的气体特性参数测量仪,其特征在于:所述排水口的内侧口沿为上大下小的锥形口沿。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的气体特性参数测量仪,其特征在于:所述参数测量传感器包括流量传感器和/或纯度传感器。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的气体特性参数测量仪,其特征在于:所述冷凝装置包括半导体制冷片和与半导体制冷片装配在一起的多个冷凝片。
7.根据权利要求2所述的气体特性参数测量仪,其特征在于:所述壳体包括轴向沿上下方向延伸的中间筒体和对应设置于中间筒体上下两端开口处的上端盖、下端盖,中间筒体中设有将中间筒体的内腔分为上腔和下腔的分隔板,所述下腔即为所述气体流动通道,所述进气口设置于所述下端盖上,所述分隔板上设有与所述下腔连通的通气孔,通气孔的下端孔口即为所述的出气口,所述参数测量传感器包括布置在上腔中的流量传感器,流量传感器的测量管道的下端与所述的通气孔插接连通、上端与所述上端盖上设有的排气孔插接连通。
8.根据权利要求7所述的气体特性参数测量仪,其特征在于:所述参数测量传感器还包括纯度传感器,所述纯度传感器设置于所述中间筒体的对应下腔的筒壁上。
9.根据权利要求8所述的气体特性参数测量仪,其特征在于:所述中间筒体的外周面上设有线路板安装槽,线路板安装槽中设置有线路板,线路板与所述流量传感器及纯度传感器信号连接。
10.根据权利要求9所述的气体特性参数测量仪,其特征在于:所述冷凝装置包括半导体制冷片和与半导体制冷片装配在一起的多个冷凝片,半导体制冷片与所述线路板控制连接。
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