[实用新型]卧式石墨化炉

权利要求书

1.卧式石墨化炉，包括内炉体、加热机构和外炉体，所述内炉体由内至外包括反应室(1)、坩埚和保温层(2)，所述内炉体和所述加热机构设置在所述外炉体内部，所述外炉体包括炉体外壳(3)和炉盖(301)，所述炉盖(301)设置在所述炉体外壳(3)两端，其特征在于，所述坩埚设置在所述保温层(2)的内壁中，所述保温层(2)包括硬质碳毡保温层(201),所述硬质碳毡保温层(201)的底盘支撑着所述坩埚，所述内炉体两端设有保温门(4)。

2.根据权利要求1所述的卧式石墨化炉，其特征在于：所述保温层(2)还包括软质碳毡保温层(202)，所述软质碳毡保温层(202)设置在所述硬质碳毡保温层(201)的外表面。

3.根据权利要求1所述的卧式石墨化炉，其特征在于：所述加热机构包括感应线圈(5),所述感应线圈(5)设置在所述保温层(2)的外侧，所述坩埚为石墨坩埚(6)，所述感应线圈(5)通过电磁感应对所述石墨坩埚(6)进行加热。

4.根据权利要求3所述的卧式石墨化炉，其特征在于：所述感应线圈(5)与所述保温层(2)之间设置有绝缘层(7)，所述绝缘层(7)为两层及两层以上刚玉绝缘层(701)。

5.根据权利要求4所述的卧式石墨化炉，其特征在于：所述刚玉绝缘层(701)相邻两层的刚玉砖错开设置，所述刚玉绝缘层(701)顶部采用外凸弧形结构(702)。

6.根据权利要求3所述的卧式石墨化炉，其特征在于：所述感应线圈(5)与所述炉体外壳(3)之间设置有绝缘垫层(8)，所述绝缘垫层(8)通过绝缘支撑柱(9)与所述炉体外壳(3)固定。

7.根据权利要求1所述的卧式石墨化炉，其特征在于：所述炉体外壳(3)设置有水冷夹层(302)。

8.根据权利要求1所述的卧式石墨化炉，其特征在于：所述炉体外壳(3)底部设置有排污口(303)。

9.根据权利要求1所述的卧式石墨化炉，其特征在于：所述炉体外壳(3)顶部设置有安全阀(304)，所述安全阀(304)用于调节所述炉体外壳(3)内部压力。

10.根据权利要求1所述的卧式石墨化炉，其特征在于：所述炉体外壳(3)上还设有红外测温仪(305)，所述保温门(4)上设置有测温管(306)，所述红外测温仪(305)通过所述测温管(306)用于检测所述反应室内温度。