[实用新型]一种具有搅拌功能的多晶硅坩埚模具

权利要求书

1.一种具有搅拌功能的多晶硅坩埚模具，其特征在于，包括坩埚外壳（1）、坩埚隔板（2）和坩埚盖体（3），所述坩埚外壳（1）与所述坩埚隔板（2）之间存在第一空腔（4），所述第一空腔（4）可容纳原料，所述坩埚隔板（2）和所述坩埚盖体（3）之间存在第二空腔（5），所述坩埚盖体（3）上设有加压孔（6）和排气孔（7），所述加压孔（6）和所述排气孔（7）均与所述第二空腔（5）连通，所述加压孔（6）为所述第二空腔（5）内加压，所述排气孔（7）为所述第二空腔（5）内减压，所述第一空腔（4）底部安装有搅拌装置（8），所述搅拌装置（8）包括搅拌轴和搅拌臂，所述搅拌轴垂直安装在所述第一空腔（4）底板上，所述搅拌臂设置在所述搅拌轴上。

2.据权利要求1所述的具有搅拌功能的多晶硅坩埚模具，其特征在于，所述坩埚隔板（2）尺寸比所述坩埚外壳（1）内壁尺寸小1-2mm。

3.根据权利要求1所述的具有搅拌功能的多晶硅坩埚模具，其特征在于，所述坩埚盖体（3）内径等于所述坩埚外壳（1）外径。

4.根据权利要求2或3所述的具有搅拌功能的多晶硅坩埚模具，其特征在于，所述加压孔（6）和所述排气孔（7）分别设于所述坩埚盖体（3）两侧。

5.根据权利要求4所述的具有搅拌功能的多晶硅坩埚模具，其特征在于，所述坩埚隔板（2）和坩埚盖体（3）上均设有手柄。