[实用新型]光加工装置

说明书

技术领域

本发明涉及光加工装置。

背景技术

以往的光加工装置运送加工对象物，使得加工对象物的被加工部分相对于光加工装置的加工区域相对移动，对该加工对象物实施加工处理。

例如，专利文献1公开一种激光加工装置，该激光加工装置用光源发射的光(加工光)照射加工对象物，对加工对象物上的ITO薄膜实施图案加工，或者对金属薄板形成的加工对象物本身进行切削加工。在该激光加工装置中，将被卷成卷状保管在加工对象物供给部中的加工对象物从该加工供给部中取出，移动到激光加工装置的加工区域。而后用扫描振镜(光扫描装置)进行二维扫描，对加工区域内的加工对象物的被加工部分实施加工处理。加工处理之后，进一步取出加工对象物，使得下一个被加工部分移动到激光加工装置的加工区域，对该下一个被加工部分实施加工处理。

通常，利用加工光加工加工对象物的光加工装置中，如果加工对象物在照射加工对象物的加工光的广州方向上发生变位，则相对于加工对象物的加工光的焦点位置便发生变位，无法获得稳定的加工精度。为此，有必要确保位于用来对该光轴方向上的加工对象物进行定位的压盘等加工台部件上的加工对象的平面度。

但是，对于使得加工对象物移动用以随时实施加工的光加工装置来说，保持加工对象物的平面度具有一定难度。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供一种光加工装置，其中具有以下各部：移动部，用于使得被置于加工台部件的台面上的加工对象物移动；以及，光照射部，用于对被置于所述加工台部件的台面上的所述加工对象物中的加工对象部分照射加工光，其特征在于，进一步具有吸引部，该吸引部通过从形成于所述加工台部件的台面上的吸引孔吸引空气，将所述加工对象物吸附在该加工台部件的台面上。

本发明的效果在于，在利用让加工对象物移动的光加工装置实施加工时，能够确保加工对象物的平面度。

附图说明

图1是实施方式涉及的激光图案加工装置的主要部分的结构示意图。

图2是图1所示激光图案加工装置中一例激光发振器的结构示意图。

图3是图1所示激光图案加工装置中光扫描装置的一变形例的结构示意图。

图4是图1所示激光图案加工装置中一例加工对象输送部的结构示意图。

图5是图1所示激光图案加工装置中加工对象输送部的俯视图。

图6是图1所示激光图案加工装置中另一例加工对象输送部的结构示意图。

图7是图1所示激光图案加工装置中载体位于主扫描方向上不同位置时的激光光路示意图。

图8是图1所示激光图案加工装置的图案加工处理的一例流程图。

图9是实施方式的一例加工对象输送处理流程图。

图10是将加工对象物的被加工区域分割成12块依次实施加工处理时的加工顺序的示意图。

图11是各块被加工部分之间连续布线图案的一例示意图。

具体实施方式

以下描述一例将本发明涉及的光加工装置应用到激光图案加工装置的实施方式。

本发明涉及的激光图案加工装置的加工对象物是在基体上形成ITO薄膜，通过激光(加工光)照射该加工对象物上的ITO薄膜，去除一部分ITO薄膜，对ITO薄膜实施图案加工。但是，本发明涉及的光加工装置不受本实施方式1涉及的激光图案加工装置的限制，同样可以适用于加工其他图案的加工装置、切削加工等其他加工处理装置、以及用激光以外的光作为加工光进行加工的装置等等。

图1是本实施方式的激光图案加工装置的主要部分的结构示意图。

本实施方式的激光图案加工装置具备激光输出部1、激光扫描部2、加工对象输送部3、以及控制部4。

激光输出部1具有作为光源的激光起振器11和光扩束器12。光扩束器12用来扩大从激光起振器11输出、作为加工光的激光L的光束直径。

激光扫描部2具有作为会聚部的fθ透镜22，该fθ透镜22用来将通过扫描振镜(galvano meteric scanner)21、22扫描的激光L会聚到加工对象物35表面(被加工面)或者基体与ITO薄膜之间的界面等加工对象物内部(与加工对象物表面相距规定深度的部位)，其中的扫描振镜21、22是用来通过步进电机21b驱动转动反射激光L的X轴向扫描用和Y轴向扫描用的两个Galvano反射镜21a，用以使得激光L在X轴向和Y轴向进行扫描的光扫描装置。